国别厂家：荷兰复纳（飞纳）
型号：Phenom ProX

技术指标：
（1）放大倍率：光学放大 20-120倍，电子放大不小于 100,000倍；
（2）背散射电子探测器分辨率： 优于17 nm；
（3）图像观测导航界面：光学导航界面与电子导航，与成像界面在同一屏幕上；
（4）观察模式：全面模式(形貌和成份)、形貌模式A（3D）、形貌模式B（3D）。

功能/应用范围：
微纳结构观察，材料显微组织观察，显微缺陷观察分析，元素成分分析，比传统SEM更快捷